申请号

CN201420306480.X

公开号

CN203917314U

申请人

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发明人

王新海;张永军;李俊涛

摘要

本实用新型涉及单晶炉清洁技术领域,具体为一种单晶炉副室炉筒内壁除尘装置。本实用新型通过在清洁材料下层添加弹性材料,增加清洁材料的柔性,实现所述清洁材料与炉筒内壁的软性接触,减少清洁除尘操作中因操作不当导致的清洁装置对炉筒内壁造成的划伤；通过采用支杆铰接结构设计,所述单晶炉副室炉筒内壁除尘装置可适应多种内径尺寸的炉筒的清洁需求；通过采用多弧形刷结构设计,所述单晶炉副室炉筒内壁除尘装置增大了清洁材料与炉筒内壁的接触面积,提高清洁效率。